製品情報

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システム製品

ST - ctlg
精密ステージ
SS - ctlg
半導体サブシステム
ウエハ搬送ロボット／ウエハアライナー／ウエハロードポート
MR - ctlg
産業用ロボット（垂直多関節ロボット／スカラロボット／電動グリッパー）
ST - LMT
【軽量・高加減速タイプ】リニアモーター単軸ステージ
LMTシリーズ
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ST - LMC
【高精度・高速安定タイプ】リニアモーター単軸ステージ
LMCシリーズ
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ST - SA
【低重心・重負荷タイプ】リニアモーター単軸ステージ
SAシリーズ
カタログPDF
ST - SSA
【短納期】リニアモーター単軸ステージ
SSAシリーズ
カタログPDF
MR - RA605
垂直多関節ロボット
RA605シリーズ
カタログPDF
MR - RA610
垂直多関節ロボット
RA610シリーズ
カタログPDF
MR - RS405/410
スカラロボット
RSシリーズ
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MR - EE-X
インテリジェント電動グリッパー
Xシリーズ
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MR - EE-S
統合型電動グリッパー
Sシリーズ
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MR - EE-Ctr
電動グリッパー　コントローラー
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MR - DCRK
直交ロボット
DCRKシリーズ
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SS - RW
ウエハ搬送ロボット
Eシリーズ
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SS - aligner
ウエハアライナー
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SS - HLP
ウエハロードポート
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ST - SSA XY
リニアモーターステージ
SSA XYシリーズ
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ST - SSA Clean
【クリーンルームタイプ】リニアモーター単軸ステージ
SSAシリーズ
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ST - custom
リニアモーターステージ
カスタム版
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ST - planar
【摩耗なしエアベアリング】平面式サーボモーター　LMSPシリーズ
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ST - N2
ナノ精密位置決めステージ【N2】
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DD - DMT
薄型DDモーター　DMTシリーズ
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DD - DMH
DDモーター　DMHシリーズ
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GW - Mシリーズ
Mシリーズ
ステンレス製 リニアガイドウェイ
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