ナノ精度位置決めステージ

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【ナノ精度位置決めステージ】_短納期&高コスパ_・PLP対応_・位置決め安定性±2nm_・速度リップル±0.1%@100mm/s
PLP工程やウエハ検査装置にご活用いただけるナノ精度のリニアモーター位置決めステージです。特に半導体製造の後工程における競争力強化に貢献します。
【開発納期短縮に貢献する、標準モデル4機種が新登場!】機械要素部品/メカトロ製品/制御技術_これらの3つの要素を備えたハイウィンだからこそ実現できる驚きの短納期&高コスパ!_標準モデルの登場でさらに開発納期短縮に貢献します。
【ナノ精度位置決めステージ標準モデル】ウエハ白色干渉測定モデル_12インチウエハの測定装置に適用。サーボ安定性が高く、高倍率の視覚測定に好適。短納期対応/PLP検査モデル_エアベアリングとリニアガイドウェイのハイブリット構造で、高精度・高剛性。短納期対応。/LDI検査モデル_ハイグレードなエアベアリングステージ。動的安定性と動的精度が高く、安定して高い精度が維持可能。/ウエハ光学検査装置モデル_8インチウエハの検査やAOI装置に適用。短納期で安定性の高い汎用ステージ。
【半導体サブシステムsolution】半導体製造大国である台湾にグローバル本社を置くハイウィンは、数ある納入実績に裏打ちされた高い技術で半導体・LED・FPD産業向けに、コンポーネントからサブシステムまでトータルでご提案。他社では真似できない多彩な製品ラインアップで貴社の課題解決に貢献します。/ウエハ搬送システム/ロードポート/ウエハ搬送ロボット/ウエハアライナー/リニアガイドウェイ/薄型DDモーター/DDモーター