特長
位置および回転の制御を行う位置センサを内蔵し、摩耗のないエアベアリング方式の平面サーボモーター。シンプルな構成ながら、XYステージと同等の機能を持つ。
固定子は最大850mm×850mmまで可能！分解能0.001mm、精度±0.015mm、繰返し精度最高0.001mmで、逆さ取付も可能です。
専用ドライバ【LMDX+】とつなぐことにより、複雑な平面運動が可能に。
- XYテーブル
- 内部位置検出による閉ループ制御
- 摩耗なしエアベアリング
- 外部検出磁場なし
- 低発生熱による安定位置制御
- 逆さでの取付可
