SS - aligner - ハイウィン株式会社

ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。

内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。

インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。

クリーン度の等級はClass 1、半導体産業、光電産業などを含め対応できます。

ウエハアライメントは最短4.9秒以内が可能です。ウエハの中心および角度等の補正動作と同時に繰り返し精度(センタリング)±0.1mmの実現が可能です。

関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視します。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供します。

製品の表面には状態表示パネルを設置しているので、ユーザーは即時に製品の使用状態を把握できます。また、両サイドの持ち運びしやすさ、安定性などユーザーに親切なデザインを実現しています。

製品のライフサイクルを通して環境責任を果たすため、 HPAシリーズはヨーロッパRoHS2認証を取得し、水質汚染等級最低限のグリース(WGK1)を使用し、エコ梱包材(NBSK)を使用しています。

ウエハアライナー

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