製品情報

特長

ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。

製品のクリーン度はClass 1。フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。

関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

カタログ・リーフレット

ウエハロードポート

【PoC支援サービス】HIWINロボット技術センター

技術サポート

HIWINテクニカルサポートサイト（ www.hiwinsupport.com ）では、製品のクイック選定や寿命計算、CADダウンロード等が可能です。データのダウンロードには会員登録が必要です。