お知らせ

■超薄型DDモーター【DMTシリーズ】

業界最薄クラスのDDモーター【DMTシリーズ】にて、2023年6月より大口径タイプ「DMTK3」が新たに受注・販売開始。

中空径340mm/薄さ30mmで、4-12インチウエハに対応。
高精度を要求される半導体製造工程やAOI検査装置への使用に適しています。

また、従来ラインアップに比べ中空径が広がったため、
より自由度の高い装置設計に役立てていただけます。
超薄型のコンパクトさとケーブルやエア配管を通せる中空径で、　
装置メーカーにおけるステージ設計や組立て工数の圧縮も可能です。

■ウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

2-12インチウエハに対応。

ボールねじやDDモーターなど主要コンポーネントに当社製を採用し、リーズナブルと高性能を実現。

ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。

ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

■ウエハアライナー

2-12インチウエハに対応。

3軸制御の製品で、 当社単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。