お知らせ
NEWS12インチウエハ対応超薄型大中空径DDモーター「DMTK3」販売開始のお知らせ
[お知らせ]
平素は格別のご高配を賜り厚く御礼申し上げます。
ハイウィンは、超薄型で大中空径を誇るDDモーターDMTシリーズにて、中空径340mm/薄さ30mmの「DMTK3」を2023年6月、新たに受注・販売開始いたします。
■ 製品の概要
DMTシリーズは、超薄型で低重心、そして大中空径が特長のダイレクトドライブモーターで、高精度を要求される半導体製造工程やAOI検査装置への使用に適しているシリーズです。この度受注・販売を開始するDMTK3は、従来ラインアップに比べ中空径が340ｍｍに広がったことから、12インチウエハを中空径に通すことができ、さらに自由度の高い装置設計に役立てていただける製品です。
超薄型のコンパクトさと中空径にケーブルやエア配管を通せることにより、装置メーカーにおけるステージの設計や組立工数を圧縮可能。例えば当社リニアモーターと組み合わせれば、比較的容易に全高250mm程度の高精度XYΘステージを組むことができるなど、装置の省スペース化や低重心化だけでなく、剛性向上にも寄与します。
■ 製品の特長
・大中空径340mm、薄さ30mm・ギアなし、ゼロバックラッシュ
・高分解能で優れた位置決め精度
・独自の磁気回路設計により高トルク
・当社製高剛性クロスローラーベアリングを内蔵
■ 開発の背景
ウエハ関連工程の市場における、4-8インチだけでなく12インチウエハに対応する大中空径/超薄型ダイレクトドライブモーターの需要に応えるため。
従来の12インチウエハ関連の工程では、ダイレクトドライブ方式以外の機構や円弧状機構の一部を使用して大きな中空ステージを製作していましたが、粉塵の影響や重量、大きさ、精度、構造などの欠点がありました。HIWIN MIKROSYSTEMではそれらを解決する大中空径/超薄型DDモーターである「DMTK3」を開発しました。
■ 主な用途
12インチウエハ関連工程（ウエハダイシングやウエハ検査など)、マイクロLEDマストランスファー工程など、高精度だけでなく大中空径や薄型・省スペース要件を求めるアプリケーションに。
■ DMTシリーズの主な仕様
