製品情報

特長

自社製DDモーターを採用し、高性能＆高剛性が特長。
2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。
高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

カタログ・リーフレット

ウエハロボット Eシリーズ

【PoC支援サービス】HIWINロボット技術センター

技術サポート

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