お知らせ

■ナノ精度位置決めステージ【N2】
高精度・短納期対応
半導体製造の精度要求に応えるナノ精度ステージ±2 nmの位置決め安定性と、100mm/s時で0.1%の速度リップルを実現。

低床で高剛性なリニアモーター位置決めステージです。
標準モデル4機種をラインアップし、開発納期とコストの削減にも貢献します。
PLP検査装置やウエハ検査装置のサブシステムとしてご活用いただけます。

■ウエハロード・アンロードシステム
半導体製造関連装置との組合せに最適な「ウエハロード・アンロードシステム」を出展します。当社製「ウエハ搬送ロボット」と「ウエハアライナー」を組合せ、ウエハのロード・アンロード自動化。
コンパクトモデルで、スペース効率と作業効率向上に寄与します。

《ウエハ搬送ロボット》
・当社製DDモーター採用で、高性能＆高剛性
・2-12インチウエハに対応

《ウエハアライナー》
・高速、高精度、高剛性、省スペースを実現
・2-12インチウエハに対応

■超薄型DDモーター搭載 精密位置決めステージ
圧倒的省スペース
シンプル設計でメンテナンス工数削減

当社製の業界最薄クラスの「DDモーター/DMTシリーズ」とリニアモーターを組合わせたXYΘステージは厚みも幅もコンパクト。部品点数も大幅に削減し、メンテナンス工数や組立て工数削減に貢献します。
自動化機器、省人化機器、搬送機器の省スペース化や低重心化による装置剛性向上に寄与するほか、ウエハパッケージング装置など、半導体製造工程にもご活用いただけます。