製品情報

特長

コアレスリニアモーター採用で、精密位置決めおよび定速スキャンニング運動に適している高精度・高速安定タイプの単軸ステージ。

• リニアモータ直接稼働により高精度運動が可能に
• 無負荷時：最大加速度50m/s2、最大速度5m/s
• 4mまでのストロークに対応
• 優れた速度制御性能
• 低コスト、コンパクトサイズ、高性能
• クリーンルーム向き

カタログ・リーフレット

リニアモーターシステム

 

技術サポート

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