製品情報

半導体・LED・FPD産業向けに、コンポーネントだけにとどまらないサブシステムをご提案します。
DDモーターなど自社製主要コンポーネントを採用し高性能とリーズナブルを両立したウエハ搬送ロボットや、業界最小クラスのウエハアライナーなどをラインアップ。