お知らせ

■DDモーター DMTシリーズ
装置の省スペース化に貢献
大中空径を備えた超薄型DDモーター

業界再簿クラスのDDモーターDMTシリーズは、最大中空径340mm。
本展では、DMTとAIビジョン、特殊コンベアを組合わせたトンネル型検査デモをご覧いただけます。AIビジョンを搭載したDMTにワークを通し、DMTを回転させることで、1台のビジョンで表裏検査が可能。省スペース化とコスト削減に貢献します。

■DDモーター
省スペース化×部品点数削減を同時に実現
豊富なバリエーションでニーズに応える！

減速機構を必要としないダイレクトドライブ方式を採用し、ギアによる摩擦やバックラッシュを排除。高精度で滑らかな回転性能を実現します。さらに、高剛性クロスローラーベアリングを内蔵しており、高負荷環境でも安定したパフォーマンスを発揮します。また、超薄型・高トルク・高応答といった特長に加え、インナー／アウターローターなど豊富なバリエーションを取り揃え、幅広い産業用途に対応します。

■ナノ精度位置決めステージ【N2】
高精度・短納期対応
半導体後工程を支える精密ステージ
高コスパで開発期間の短縮に貢献！

半導体製造の精度要求に応える低床・高剛性のリニアモーター位置決めステージです。±2 nmの位置決め安定性と、100mm/s時で0.1%の速度リップルを実現しています。標準モデル4機種をラインアップしており、開発納期とコストの削減にも貢献します。PLP検査装置やウエハ検査装置のサブシステムとしてご活用いただけます。