お知らせ

■ナノ精密位置決めステージ【N2】

高精度・短納期対応
半導体製造の精度要求に応えるナノ精度ステージ

±2 nmの位置決め安定性と、100mm/s時で0.1%の速度リップルを実現した高性能ステージ。 低床・高剛性構造です。
標準モデル4機種をラインアップし、開発納期とコストの削減にも貢献。
PLP検査装置やウエハ検査装置のサブシステムとしてご活用いただけます。

■超薄型DDモーター搭載 精密位置決めステージ
半導体・LED・FPD産業にも応用可能
コンポーネントにとどまらないサブシステムをご提案！

当社製の業界最薄クラスの「DDモーター/DMTシリーズ」とリニアモーターを組合わせたXYΘステージは厚みも幅もコンパクト。部品点数も大幅に削減し、メンテナンス工数や組立て工数削減に貢献します。

■ステンレス製リニアガイドウェイ

炭素鋼製のスペックはそのままに、耐食性能を大幅に向上！
食品機械、半導体製造装置などに最適

レール、ブロック、ボール、グリースニップル、ねじにステンレス鋼を採用。耐食性に優れ、高湿度環境や低～中真空環境で使用可能。すべての機能が炭素鋼製と同等です。各種測定機器、自動化機器、半導体製造装置、食品機械、医療機器製造などさまざまな産業でご活用いただけます。