お知らせ

■ウエハ搬送ロボット
2-12インチウエハに対応。
ボールねじやDDモーターなど主要コンポーネントに当社製を採用し、リーズナブルと高性能を実現。

ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。

ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

本展では、「ウエハ搬送ロボット」の他、2-12インチ対応の「ウエハアライナー」も出展いたします。

■薄型DDモーター【DMTシリーズ】
「DMTシリーズ」は、超薄型で低重心、そして大中空径が特長のダイレクトドライブモーター。
高精度を要求される半導体製造工程やAOI検査装置への使用に適しているシリーズです。

コンパクトなデザインにより機械の高さを大幅に低減するほか、大中空径にケーブルやエア配管を通せるなど、ステージの設計・組立工数を削減します。

厚さ 22㎜ の「DMTB2・DMTF2」に加え、
2023年6月より、新たに中空径340mm/厚さ30mmの「DMTK3」を受注・販売開始しました。

■【状態可視化システム搭載 ボールねじ】i4.0BS®

ボールねじにつけた温度＆振動センサーの情報をECM（Edge Computing Module）で常時監視し、ボールねじの状態を可視化するシステムです。

i4.0シリーズはボールねじ「4.0BS®」のほかに、リニアガイドウェイ「4.0GW®」、単軸ロボットをラインアップ。

シリーズ導入により、生産管理者はオンラインで異常診断、部品疲労分析、潤滑制御を行うことが可能に。
暖機時間の短縮や、スマート給油システムで潤滑油を節約することで環境にやさしいものづくりに貢献します。