お知らせ
NEWS第3回 [九州]半導体産業展（2026.9.30-10.1/福岡県)
[展示会情報]
2026年9月30日よりマリンメッセ福岡で開催される「第3回 [九州]半導体産業展」に出展いたします。
当社ブースでは、±2nmの位置決め安定性と高速動作を両立するナノ精度位置決めステージをはじめ、ステンレス鋼対応のリニアガイドウェイなど、半導体製造工程に最適な精密ステージ・機械要素部品を幅広く出展いたします。半導体製造の高度化や開発効率化に貢献するソリューションをワンストップでご提案いたします。
■ 開催概要
| 展示会名 | 第3回 [九州]半導体産業展 |
| 日 時 | 2026年9月30日(水)～10/1(木) 10:00 ～17:00 |
| 会 場 | マリンメッセ福岡 |
| 小間番号 | B5-2（B館） |
| 入場料金 | 無料 ※事前来場登録制 来場事前登録は【コチラ】 |
| 公式ＨＰ | https://k-semi.jp/ |
◇注目の出展製品：
■精密位置決めステージ
半導体製造後工程の進化を加速する精密ステージ
省スペース化にも貢献！
半導体製造の厳しい精度要求に応えるリニアモーター位置決めステージを展示します。 ±2 nmの位置決め安定性と100 mm/s駆動時の速度リップル0.1％を実現するナノ精度位置決めステージ【N2】をはじめ、超薄型DDモーター「DMTシリーズ」とリニアモーターステージを組み合わせたXYΘステージもご紹介します。低重心・高剛性設計により振動や姿勢変化を抑制し、高精度な位置決めと高速動作を両立。さらに、省スペース化にも貢献します。
■ウエハロード・アンロードシステム
半導体製造関連装置との組合せに最適な「ウエハロード・アンロードシステム」を出展します。当社製「ウエハ搬送ロボット」と「ウエハアライナー」を組合せ、ウエハのロード・アンロード自動化。
コンパクトモデルで、スペース効率と作業効率向上に寄与します。
《ウエハ搬送ロボット》
・当社製DDモーター採用で、高性能＆高剛性
・2-12インチウエハに対応
《ウエハアライナー》
・高速、高精度、高剛性、省スペースを実現
・2-12インチウエハに対応
■ステンレス製リニアガイドウェイ
炭素鋼製のスペックはそのままに、耐食性能を大幅に向上！
食品機械、半導体製造装置などに最適
レール、ブロック、ボール、グリースニップル、ねじにステンレス鋼を採用。耐食性に優れ、高湿度環境や低～中真空環境で使用可能。すべての機能が炭素鋼製と同等です。各種測定機器、自動化機器、半導体製造装置、食品機械、医療機器製造などさまざまな産業でご活用いただけます。
皆さまのご来場を心よりお待ちしております。
