お知らせ

■ナノ精度精密位置決めステージ【N2】
高精度・短納期対応
半導体製造の精度要求に応えるナノ精度ステージ±2 nmの位置決め安定性と、100mm/s時で0.1%の速度リップルを実現。

低床で高剛性なリニアモーター位置決めステージです。
標準モデル4機種をラインアップし、開発納期とコストの削減にも貢献します。
PLP検査装置やウエハ検査装置のサブシステムとしてご活用いただけます。

■ウエハ搬送ロボットMシリーズ
高い自由度の非円筒座標設計により、限られたスペースでもスムーズに動作。走行軸レスで複数ステーションへ柔軟にアクセスでき、2～12インチウエハやリングフレームに対応可能なエンドエフェクターを搭載。

自社製リニアガイドウェイやボールねじを採用し、安定した搬送性能と高い信頼性を実現。ダブルハンド設計（オプション）により、ピック＆プレース時間を大幅に短縮し、生産効率の向上に貢献します。
ウエハ搬送、フレーム搬送をはじめ、半導体製造装置や自動化装置など、さまざまな産業用途でご活用いただけます。

■MD-ZT 位置決めステージ
5軸自由度のコンパクト設計により、装置内部の限られたスペースでもスムーズに動作。高さ90mmの薄型構造でありながら、Z・Rx・Ry・Rz・Lift-Z の多軸制御に対応し、高精度な位置決めを実現します。

スマートモジュールによる状態監視にも対応し、装置稼働の安定化と効率化に貢献。一体型ロータリー式エアジョイントにより、配管の取り回しにも柔軟性を持たせ、装置設計の自由度をさらに高めます。
半導体検査装置、精密測定機器、光学検査装置など、さまざまな先端産業にご活用いただけます。

■ステンレス製リニアガイドウェイ
炭素鋼製のスペックはそのままに、耐食性能を大幅に向上！
食品機械、半導体製造装置などに最適

レール、ブロック、ボール、グリースニップル、ねじにステンレス鋼を採用。耐食性に優れ、高湿度環境や低～中真空環境で使用可能。すべての機能が炭素鋼製と同等です。各種測定機器、自動化機器、半導体製造装置、食品機械、医療機器製造などさまざまな産業でご活用いただけます。