お知らせ

■N2 ナノ精密ステージ
ナノスケール位置決め可能な精密ステージ 。
高精度が要求される半導体産業に好適！

位置決め安定性は±2nm。100mm/sでの高速安定性は±0.1%。
低床で安定した構造でハイエンドの精密検査装置などにご活用いただけます。

■超薄型DDモーター【DMTシリーズ】
「DMTシリーズ」は、超薄型で低重心、そして大中空径が特長のダイレクトドライブモーター。 高精度を要求される半導体製造工程やAOI検査装置への使用に適しているシリーズです。

コンパクトなデザインにより機械の高さを大幅に低減するほか、大中空径にケーブルやエア配管を通せるなど、ステージの設計・組立工数を削減します。 本展ではDDモーター「DMTシリーズ」と当社製リニアモーターステージを組合わせた、XYΘステージを出展いたします。

■半導体サブシステム solution
当社は世界トップレベルのシェアを誇る直動製品のほか、モーションコントロールに関わる精密機器や産業用ロボットなど幅広い製品の開発、提案、販売、メンテナンスを手掛けます。

本展では、半導体・LED・FPD産業向けに、コンポーネントにとどまらないサブシステムをご提案。 半導体産業に最適な、ステンレス鋼のリニアガイドウェイやボールねじなどの機械要素部品、ウエハ搬送システムなどを出展いたします。
ウエハ搬送システムは、ダブルアームのウエハ搬送ロボットとウエハアライナーを搭載。コンパクトモデルで、スペース効率と作業効率向上に寄与します。