特長
吸気ポートを装備した、クリーンルーム設備向けの防塵設計タイプ。モーターとボールねじを連動させて動かす仕組みです。防塵設計なので、半導体製造装置、発光ダイオード(LED)検査装置、医療関連機器などの機械製品にお使いいただけます。
- クリーンルーム用
- ステンレスカバー
- ACサーボモーター内蔵(オプション)
- 繰り返し位置決め精度± 0.02mm
- すぐれた防塵性
- 幅広いストロークに対応
KS:高防塵タイプ
フラットパネル ・半導体産業 ・医療機材・設備 ・フラットパネルガラス基板搬送システム ・環境検査・試験機器など
吸気ポートを装備した、クリーンルーム設備向けの防塵設計タイプ。モーターとボールねじを連動させて動かす仕組みです。防塵設計なので、半導体製造装置、発光ダイオード(LED)検査装置、医療関連機器などの機械製品にお使いいただけます。
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