製品情報

PRODUCT

多軸位置決めステージ【MD-ZT】

システム製品

半導体検査装置（マルチレンズウエハ検査）に

ST – MD-ZT
多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を、高さ90mmのコンパクトな構造で実現。
従来のZ軸+T軸構成をXYステージに組み合わせる際に発生する、負荷重量の増加や高さの問題を解決します。
  • 特長
  • カタログ・リーフレット
  • 技術サポート

    • 特長

    • 5軸自由度
    • サーボ帯域幅＞100Hz
    • クリーンルームISO Class2準拠
    • 一体型ロータリー式エアジョイント
    • 機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能
    • 最小高さ90mm

    カタログ・リーフレット

    多軸位置決めステージ【MD-ZT】

    多軸位置決めステージ【MD-ZT】

    技術サポート

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