製品情報
PRODUCT真空対応 リニアモーター
半導体産業に
![LM – vacuum](https://www.hiwin.co.jp/wp-content/uploads/2024/11/真空リニアモーター.png)
高真空10-8 mbarクラスまで対応します。
カスタムの磁気シールド設計により磁気干渉を防ぎ、半導体における電子ビームのアプリケーションを安定化。
ご要望に応じたカスタム対応で、より高い推力密度性能を達成します。
■10-8 mbarまでの高真空に対応
■カスタム磁気シールド機能
■カスタム可能な高度な洗浄及びアウトガス検査サービス
技術サポート
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