製品情報

PRODUCT

真空対応 リニアモーター

半導体産業に

LM – vacuum
HIWIN 真空対応リニアモーターは、真空用途の低アウトガス要件を考慮した幅広いラインアップを提供。
高真空10-8 mbarクラスまで対応します。
カスタムの磁気シールド設計により磁気干渉を防ぎ、半導体における電子ビームのアプリケーションを安定化。
ご要望に応じたカスタム対応で、より高い推力密度性能を達成します。

■10-8 mbarまでの高真空に対応
■カスタム磁気シールド機能
■カスタム可能な高度な洗浄及びアウトガス検査サービス

技術サポート

HIWINテクニカルサポートサイト( www.hiwinsupport.com )では、製品のクイック選定や寿命計算、CADダウンロード等が可能です。データのダウンロードには会員登録が必要です。