製品情報
PRODUCT真空対応DDモーター DMRシリーズ
半導体産業に
特殊なパッケージ技術により真空システム内における最適化された放熱設計で、連続高トルク出力を実現します。
■ 10-8 mbarまでの高真空に対応
■最適化された放熱設計
■カスタム可能な高度な洗浄及びアウトガス検査サービス
技術サポート
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