製品情報
PRODUCTウエハ搬送ロボット
Aシリーズ
電子半導体・LEDや小型パネル産業での搬送に
全ての軸にACサーボモーターを搭載
2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット
特長
自社製の主要部品を搭載。
すべての軸にACサーボモーターを採用しています。
繰返し精度は最大±0.1mmで、2-12インチウエハに対応。
高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
カタログ・リーフレット
技術サポート
HIWINテクニカルサポートサイト（ www.hiwinsupport.com ）では、製品のクイック選定や寿命計算、CADダウンロード等が可能です。データのダウンロードには会員登録が必要です。
