製品情報

PRODUCT

ウエハアライナー

半導体サブシステム

半導体業界（ウエハ）、LED業界（サファイア基板）、光電子業界（ガラス）等のアライメントに

SS – aligner
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！
2-12インチ対応のウエハアライナー

特長

  • HPAシリーズは三軸制御のウエハアライナーで、全てに当社製小型単軸ロボットモジュールを採用。高速・高精度・高剛性・高効率・小型化を実現。
  • オールインワン設計の内蔵型コントローラーにより、外部コントローラーや配線スペースが不要。同等仕様で業界最小サイズ。
  • 透明・半透明・不透明物体の輪郭検出が可能なスマート光透過型レーザーセンサーを搭載。ウエハやガラスなど、 2～12インチまでのワークに対応可能。
  • 安全規格に準拠し、 cat.0の停止機能を提供(別途システムインテグレーターによる安全設計を推奨)。 モーター駆動、センサー、真空、循環システムなどの各機能モジュールをリアルタイム監視し、包括的かつ安全な保護を提供。
  • 緊急停止機能：外部緊急停止回路を通じて動力を遮断。
  • ユーザーフレンドリー設計：外部に状態表示パネルを備え、運転状況の確認が可能。
  • 製品ライフサイクルを通じて環境責任を果たすため、全シリーズがRoHS指令に準拠。水質汚染等級最低(WGK1)の潤滑剤を使用し、環境配慮型包装材(NBSK)を採用。

    • カタログ・リーフレット

    ウエハアライナーカタログ表紙

    ウエハアライナー

    技術サポート

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