お知らせ

■半導体サブシステムSolution
当社は機械要素部品からメカトロ製品まで幅広く開発・製造を手掛けています。半導体産業・FPD産業に適した、ステンレス製リニアガイドウェイ「MGシリーズ」やボールねじ「Super Sシリーズ」のほか、EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。

本展では、半導体産業に最適な、ステンレス製のリニアガイドウェイなどの機械要素部品、ウエハ搬送システムなどを出展いたします。

ウエハ搬送システムは、ダブルアームのウエハ搬送ロボットとウエハアライナーを搭載。コンパクトモデルで、作業効率向上に寄与します。

■薄型DDモーター【DMTシリーズ】
「DMTシリーズ」は、超薄型で低重心、そして大中空径が特長のダイレクトドライブモーター。
高精度を要求される半導体製造工程やAOI検査装置への使用に適しているシリーズです。

コンパクトなデザインにより機械の高さを大幅に低減するほか、大中空径にケーブルやエア配管を通せるなど、ステージの設計・組立工数を削減します。