お知らせ

■高性能・高剛性　ウエハ搬送ロボット

高性能＆リーズナブルを両立/タクトタイムを短縮/ギアなしだから長く使える。

高価なDDモーターをはじめ主要コンポーネンツは自社製造・ 開発。ハードウェアとソフトウェアを統合した高品質かつリーズ ナブルなロボットで、貴社製品の差別化に貢献します。

展示会場ではウエハ搬送ロボットのデモ機をご覧いただけます。

■圧倒的な薄さと大中空径！
業界最薄クラスのDDモーター【DMTシリーズ】も出展。厚さ約22mm、圧倒的な大中空径と優れた位置決め制度で機械設計の自由度アップに寄与します。

当社のリニアモーターと組合わせれば、比較的容易に全高250mm程度の高精度位置決めXYθステージを組むことも可能です。

■レトロフィットや高精度割出し台に適した円テーブル
自社製トルクモーター搭載ゼロバックラッシュ・ダイレクトドライブ方式のロータリーテーブルは、滑らかでレスポンシブな回転を実現。

仕上がり品質、歩留まり向上などさまざまな場面での優位性を高め、工作機械の差別化をサポートします。