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製品名

DiAMOND 超高精度位置決めステージ

特徴

半導体/FPD産業のために開発。エアベアリング採用でナノレベルの位置決め精度を実現したステージ。

・独自のカウンターバランス制御技術により、ステージ本体の振動を抑制。
・シリコンセラミックガイドを使用し、超精密ナノ制御を実現。
・特別なエア制御機構により、エアの流入を最適化し、使用量を提言。クリーンルーム環境Class10で使用可能。
・独自技術により、半導体前工程などハイエンドのアプリケーション向けに最適。
・イーサキャットによるネットワーク構築が可能。IoT、インダストリー4.0に対応。

用途

半導体産業・FPD産業

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