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製品名

LMX1E-Tシリーズ コアレスリニアモータ 単軸ステージ

特徴

コアレスモータを採用し、軽量、高加/減速の特質を備え、コギングも発生しません。半導体製造における検査やスキャニングなどの工程に適しています。組み合わせて、クロスステージの形でもご利用いただけます。フィードバック用エンコーダとしては、インクリメンタル形式の光学デジタル/アナログ・エンコーダおよび磁気エンコーダを用意しております。

・最大加速度50m/s^2
・最大速度5 m/s
・全長1470mmまで
注:上記データは無負荷の条件です

特徴・構造


型式


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