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製品名

RWシリーズ ウェハ搬送ロボット

特徴

高精度/高剛性のDDモータの採用、ハードウェアとソフトウェアを統合することで、再現精度は±0,02mm。また回転半径が小さいためスペース効率が高い。
多様なエンドエフェクタ(真空吸着、把持式、フリップ型等)が使用可能で、あらゆるニーズに応えます。

用途

半導体産業(ウェハ取扱)、光産業(小型パネルと太陽光パネル)、LED産業(サファイア基盤、プラスチックリング)などの搬送設備。

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