幅広い産業分野に
リニアモータ
LMSPシリーズ
平面サーボモータ
位置および回転の制御を行う位置センサを内蔵し、摩耗のないエアベアリング方式の平面サーボモータ。シンプルな構成ながら、XYステージと同等の機能を持つ。固定子は最大850mm×850mmまで可能!分解能0.001mm、精度±0.015mm、繰返し制度最高0.001mm。逆さ取付も可能です。専用ドライバ【LMDX+】とつなぐことにより、複雑な平面運動が可能に。