高精度!高剛性!12インチまで対応のウエハ搬送ロボット_繰返し位置決め精度±0.02mm

ハイウィンのウエハ搬送ロボット RWS/RWDシリーズ

POINT1_高性能&リーズナブルを両立

HIWIN_Key_Components_ボールねじ、リニアガイドウェイ、DDモータ、ACサーボモータ

高価なDDモータをはじめ主要コンポーネンツは自社製なので、リーズナブルな価格を実現。ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応や、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

POINT2_タクトタイムを短縮する高い位置決め精度

繰返し位置決め精度±0.02mmという高精度を実現することで、その後の工程においてアライメントがスムーズに。タクトタイム短縮を期待できます。

POINT3_ギアなしだから長く使える

バックラッシュなしのダイレクトドライブ方式だから、非接触で経年劣化が少ない設計。さらに部品点数も少ないため、メンテナンス工数も軽減されます。

HIWINウエハ搬送ロボットは様々な場面で応用されます。

標準仕様

RWSシリーズおよびRWDシリーズの標準仕様

HIWINウエハ搬送ロボットの概要図

●エンドエフェクタ
真空吸着、把持、反転のエンドエフェクタ
●マッピングセンサ
スイープ機能を搭載し、オプションのマッピングセンサ使用時にはピックアンドプレースの前にカセット内のウエハや基盤の重なり、傾斜を検出します。
マッピングセンサ
●ティーチングペンダント
– 分かりやすいアイコンで、カンタンに操作できます。小型で持ち運びやすいデザイン。
– 安全スイッチ付で、ロボットの誤作動を防止します。
ティーチングペンダント

型番

HIWINウエハ搬送ロボット型番表

導入までの流れ

HIWINウエハ搬送ロボット型番表


詳細は営業担当宛もしくはお問合せフォームよりご連絡下さい。
お問合せ内容に「ウエハ搬送ロボットについて」とご明記いただきますとスムーズです。

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